真空晶體生長爐技術(shù)特征

采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制爐內(nèi)壓力，爐膛內(nèi)壓力波動(dòng)小；

采用動(dòng)密封技術(shù)，能精密控制坩堝移動(dòng)與旋轉(zhuǎn)；

采用特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能有效控制籽晶位置；

采用特殊的爐膽結(jié)構(gòu)和加熱器布置，經(jīng)溫場模擬計(jì)算，能有效控制爐內(nèi)溫場分布；

具備柔性抽真空、爐內(nèi)分壓控制等功能；

采用先進(jìn)的隔熱結(jié)構(gòu)和材料，爐膽隔熱性能好、蓄熱少，

采用特殊的高溫紅外測量技術(shù)，控溫準(zhǔn)確，誤差小。

真空晶體生長爐產(chǎn)品規(guī)格

真空晶體生長爐配置選擇

結(jié)構(gòu)形式：上出料/下出料

爐門鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全碳鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：高純碳?xì)?石墨氈/固化氈

加熱器：等靜壓石墨/金屬

熱電偶：C/K/N/S分度號(hào)

紅外儀：單比色/雙比色

適于工藝氣氛：N₂/Ar/H₂