電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫,溫度均勻性好;
電阻爐采用頂立科技專屬超高溫、大電流引電技術(shù),能在高溫條件下長時(shí)間穩(wěn)定使用,也可采用感應(yīng)加熱方式;
可選配全密閉馬弗,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);
多級高效尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,易清理;
適于工藝氣氛:真空/CH4/NH3/H2/N2/Ar/空氣。
參數(shù)\型號 | VVP-0608 | VVP-1015 | VVP-1120 | VVP-1520 |
工作區(qū)尺寸 D×H(mm) | 600×800 | 1000×1500 | 1100×2000 | 1500×2000 |
最高溫度(℃) | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 |
溫度均勻性(℃) | ±5 | ±10 | ±10 | ±15 |
極限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加熱方式 | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式:手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC
熱電偶:C分度號
電源:KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)